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9月19日，中微公司于廣州市增城經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)舉辦開工儀式，宣布其旗下的華南總部研發(fā)及生產(chǎn)基地項(xiàng)目正式開工啟動(dòng)。

據(jù)悉，隨著中微半導(dǎo)體設(shè)備（廣州）有限公司（簡稱“中微廣州”）的發(fā)展以及廣州研發(fā)及生產(chǎn)基地建設(shè)的啟動(dòng)，中微公司將進(jìn)一步增強(qiáng)產(chǎn)品研發(fā)與先進(jìn)制造能力，全面深化在半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的戰(zhàn)略布局，持續(xù)鞏固其在全球高端半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。

活動(dòng)現(xiàn)場，中微公司董事長兼總經(jīng)理尹志堯博士在致辭中表示，數(shù)碼產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代工業(yè)和國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的引擎，集成電路和各種微觀器件是數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的核心。目前公司的三十多種設(shè)備已經(jīng)覆蓋半導(dǎo)體高端設(shè)備的25%到30%，在今后的五到十年，公司計(jì)劃通過有機(jī)生長和外延擴(kuò)展，逐步覆蓋半導(dǎo)體高端設(shè)備的50%到60%，發(fā)展成為平臺(tái)型的集團(tuán)公司。廣州研發(fā)及生產(chǎn)基地項(xiàng)目的啟動(dòng)，是中微公司深入推進(jìn)“三維發(fā)展”戰(zhàn)略的重要實(shí)踐，將為公司多元化布局和實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

按規(guī)劃，中微公司華南總部研發(fā)及生產(chǎn)基地總體規(guī)劃占地約130畝，此次開工建設(shè)的一期項(xiàng)目占地約50畝，預(yù)計(jì)2026年年底建成，2027年計(jì)劃投產(chǎn)?；亟ǔ珊髮⒕劢勾笃桨屣@示設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)與生產(chǎn)，并將逐步拓展至智能玻璃、板級(jí)封裝等其他新興平板微觀加工技術(shù)領(lǐng)域。隨著中微公司華南總部研發(fā)及生產(chǎn)基地的建設(shè)啟動(dòng)，將為公司不斷提升研發(fā)及生產(chǎn)能力提供有力保障。

談及平板設(shè)備業(yè)務(wù)的發(fā)展，中微公司集團(tuán)副總裁、中微廣州公司總經(jīng)理張凱表示，廣州研發(fā)及生產(chǎn)基地項(xiàng)目的啟動(dòng)，彰顯了中微公司依托半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的深厚基礎(chǔ)，跨界發(fā)展、迅速開拓新興應(yīng)用領(lǐng)域的強(qiáng)大能力，同樣也體現(xiàn)了廣東各級(jí)政府創(chuàng)新的工作思路和務(wù)實(shí)的工作作風(fēng)，加速了中微公司產(chǎn)品研發(fā)及成功產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程。

資料顯示，中微公司自2004年成立以來，一直致力于開發(fā)和提供等離子體刻蝕、化學(xué)薄膜、量檢測等微觀加工所需的高端關(guān)鍵設(shè)備。公司在過去14年保持營業(yè)收入年均增長大于35%。 在2024年銷售額同比增長44.7%的基礎(chǔ)上，2025年上半年?duì)I業(yè)收入繼續(xù)保持高速增長，同比增長43.9%，達(dá)到49.61億元。

公司持續(xù)加大研發(fā)力度，2025年上半年研發(fā)投入達(dá)到14.92億元，同比增長約53.70%， 研發(fā)投入占公司營業(yè)收入比例約為30.07%，高于科創(chuàng)板上市公司的平均研發(fā)投入水平。公司目前在研項(xiàng)目涵蓋六大類設(shè)備、二十多款新產(chǎn)品的開發(fā)；在泛半導(dǎo)體微觀制造領(lǐng)域，中微公司不斷拓展產(chǎn)品布局，包括新一代TSV深硅刻蝕設(shè)備和PVD及CVD設(shè)備，大平板顯示技術(shù)，智能玻璃和玻璃基板的大平板設(shè)備領(lǐng)域所需的薄膜設(shè)備及等離子體刻蝕設(shè)備等眾多產(chǎn)品。

截至2025年6月底，公司累計(jì)已有超6800臺(tái)等離子體刻蝕和化學(xué)薄膜設(shè)備的反應(yīng)臺(tái)，在國內(nèi)外155條生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)和大規(guī)模重復(fù)性銷售。